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上海某半導體目標致力于開發適用于40-28mm節點的300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產業化成套量產工藝；預計月產能為15萬片12英寸硅片，最終將形成300mm硅片60萬片/月的產能。主要廢氣酸性廢氣（20000CMH*1套）2016年完工，專業為客戶量身定制產品，為客戶降低成本，設計美觀，并得到客戶好評與認可。
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