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上海某技術研發中心有限公司8寸MEMS項目，主要廢氣為酸性廢氣（HCL HF H2SO4 HNO3 等）、堿（NH3等）、有機廢氣（IPA等），（酸排氣22500CMH*3套，堿排氣14000CMH*2套，有機排氣28000CMH*2套，一般排氣30000CMH*3套），一期項目 于2017年5月安裝完成，廢氣處理系統位于室內，設計美觀，滿足客戶需求，得到客戶的好評與認可。
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